线切自动化设备

国内首台线切AGV自动化设备，成功实现对晶棒多线切设备自动上下料

正在开展II期自动化研发

支持大负载高精度，自动纠偏上料&物料搬运

AGV自动化设备支持XYZ ， Rx ，Ry ，Rz 方向的调整

研发标准化，多模块进行组合，支持定制化开发

全自动化搬运，智能化物料管控，智能调度

国内首台线切割AGV自动化设备成功实现晶棒

多线切割设备的自动上下料 我们目前正在进行二期自动化研发

支持大负载高精度，上下料自动纠偏，物料搬运

AGV自动化设备支持XYZ、Rx、Ry、Rz方向

调整 研发标准化，多模块组合，支持定制化开发

全自动化搬运，智能物料控制，智能调度

参数配置

搭载自主研发线切AGV自动化设备

搭载定制化转运AGV

智能固化库存储

智能物料管控系统&智能物流系统

搭配多港上下料单元对接AGV实现全自动上下料

配备自主研发的切线AGV自动化设备

配备定制化运输AGV

智能固化库存储

智能物料控制系统&智能物流系统

将多个港口装卸单元与 AGV 匹配，实现全自动装卸

功能描述

适用产品：半导体用12寸晶圆棒

适用工艺段： 灰区段

功能说明：

1.支持晶圆棒自动量测功能

2.支持晶圆棒粘棒设备自动上下料

3.支持晶圆棒多线切设备自动上下料

4.支持线切后转运&清洗机自动上下料

5.支持水箱，料座，裸晶棒，粘棒后物料等物料的管控存储

适用产品：半导体

用12英寸晶圆棒 适用工艺段： 灰度段

功能说明：

1.支持晶圆棒

自动测量功能2. 支持威化棒贴胶设备

自动上下料 3.支持自动上下料 wafer rod 多线切割设备

4.支持线切割、传输和清洁机器

的自动装卸 5.支持水箱、材料支架、裸晶棒和柱棒材料等材料的受控存储